У Китая появилась своя литография в глубоком ультрафиолете

[XenBaza]

Секретная компания с государственным финансированием поставит CXMT, SMIC и другим заказчикам пять DUV-сканеров собственного производства уже в этом году, и 20 - в следующем. По качеству они пока уступают аналогам ASML, но это первый реальный шаг к независимости китайской полупроводниковой отрасли.

Иммерсионная технология DUV позволяет создавать элементы полупроводников по 28-нм техпроцессу за один цикл экспозиции и достигать 7 нм за счёт многократного нанесения рисунка, но с увеличением количества ошибок совмещения слоёв и снижением выхода годных изделий.